真空ポンプユニット
P94 (1.5kw)
ポンプユニット / 真空ポンプユニット
- 製品概要
- ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され､水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計､真空圧力計などから構成される
- 用途
- ダイサー用真空チャック
仕様
-
型式
P94 (1.5kw)
-
電動機出力
1.45kW/1.85kW (50/60Hz)
-
到達圧力
40Pa
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排気速度
48㎥/h ､59㎥/h (50/60Hz)
-
接続口径
25mm
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給水量
3.83L/min､ 0.2～0.5MPa
-
重量
約50kg
-
外形寸法
H550×W280×D535
-
騒音レベル
65dB/69dB (50/60Hz)
-
電源電圧
185～220V 3相Δ結線
-
定格電流
6.4A/8.2A (50/60Hz)
-
周囲温度
40℃
（外部サイト IPROS）
P97 (3.0kw)
ポンプユニット / 真空ポンプユニット
- 製品概要
- ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され､水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計､真空圧力計などから構成される
- 用途
- ダイサー用真空チャック
仕様
-
型式
P97 (3.0w)
-
電動機出力
3.0kW(50Hz)/3.4kW(60Hz)
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到達圧力
3.3kPa
-
排気速度
78㎥/h(50Hz)/92㎥/h(60Hz)at40kPa
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接続口径
Φ38.1mm(Rc11/2ｲﾝﾁ) IN･OUT共
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給水量
4.67L/min (最大給水圧1.1MPa)
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重量
約60kg
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外形寸法
H601×W333×D621
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騒音レベル
66dB/71dB (50/60Hz)
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電源電圧
185～220V 3相Δ結線
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定格電流
14.5A/14.5A (50/60Hz)
-
周囲温度
40℃