各種試験装置
  • マスククリーニング装置
  • CO2分析装置
  • リークデテクタ試験装置



  • マスククリーニング装置

     型式 G40
     キャタライザ部 タングステンヒータ 350℃
     チャンバー部 内容積 W500*D500*H300
     ガス供給部 N2 1000CCM
    H2 50SCCM
    O2 100SCCM
     UV窓 CaF φ130
     試料引き出し部 ハッチ式 開口寸法
     サセプタ温度制御 -28〜+100℃
     測定部 質量分析計,クリスタルイオンゲージ
     製品概要
     本装置は試料チャンバ-部、排気ポンプ部、ガス供給部、計測制御部より構成されています。試料チャンバー部は試料を出し入れする為の開口部と試料をセットし加熱、冷却する為のサセプタ部、UVランプを照射するための窓、試料のぞき窓、ゲージポート、測定端子等から構成されています
     用途
     マスクに付着したコンタミを除去する為のクリーニング装置です






    CO2分析ユニット

     型式 G34
     CO2分析計 紫外線方式
     電源 AC100V
     製品概要
     本装置はCO2分析計、レギュレータパネル、電源パネルよりなります。レギュレータパネルはサンプリングガスと基準ガスを切り替える為と分析計に基準流量を供給する為のものです
     用途
     ガス充填用検査装置






    リークデテクタ試験装置

     型式 G43
     リークデテクタ アネルバ製 M-212LD
     メカニカルブースター 排気速度 600LPM
     ロータリーポンプ 排気速度 167LPM
     ビラニー真空針 アナログ式
     到達真空度 1E-10Torr以下
     製品概要
     試験品の溶接等のリークを試験し合否を判定するためのもので、粗引きポンプ、ロータリーポンプ、リークデテクタを内蔵し自動測定、手動切替機能を有する
     用途
     配管部品、圧力センサーのリーク試験