加熱装置
  • 純水加熱装置(赤外線式)
  • ヒーター温調器
  • 純水加熱装置(温水式)
  • テフロンフランジヒータ
  • 温風乾燥ユニット



  • 純水加熱装置(赤外線式)

     型式 M97
     流体 純水 常温20℃
     流量 15LPM
     加熱温度 75℃
     使用圧力 0.1〜0.3MPa
     制御精度 ±1℃ 目標
     ヒータ電源 3相200V 54KW
     製品概要
     純水は石英菅内の遠赤外線ヒータにより加熱されるためクリーンな加熱ができます。
     純水を連続的に加熱供給できます
     用途
     薬液の希釈加熱、各種洗浄装置の付属装置






    純水加熱装置(温水式)

     型式 M37
     流体 純水 常温20℃
     流量 5〜20LPM
     加熱温度 50℃
     電源容量 AC200V 3相 150A
     筐体 SUS304研磨
     製品概要
     石英菅ヒータを使用しないため破損の心配がありません。接液部はSUS316内面研磨品を使用しています
     用途
     薬液希釈加熱用として電子部品の洗浄用に使用されます






    温風乾燥ユニット

     型式 M49
     流体 乾燥エア
     流量 5〜20LPM
     加熱温度 50℃
     電源容量 AC100V 10A
     筐体 SUS304ヘアライン
     製品概要
     装置からの連動により温風を発生させる
     用途
     ウエハ乾燥用






    5CHヒーター温調器

     型式 M19
     温調器 PIDデジタル調節計
     SSR 20A
     NFB 15A
     電源 AC100V/AC200V どちらかを選択
     センサー断線機能あり
     ヒータ通電ランプ
     アラームランプ
     製品概要
     本装置は温度調節器、SSR、ブレーカ、センサー入力、ヒータ出力からなり、各チャンネルとも独立設定、独立制御できます。
     用途
     マントルヒータの温度制御






    PFAフランジヒーター

     型式 C25
     定格 3相200V 2KW
     耐電圧 AC1500V1分間
     絶縁抵抗 DC500V メガーにて10MΩ以上(冷間時)
     電流誤差 定格に対して±10%以下
     圧力 0.5MPa以下
     適用Оリング G85EPDM
     製品概要
     ヒーター部はPFA被覆されている為優れた耐薬品性を示します。
    液中から直に加熱できる為伝熱効率が高いです。
    フランジ式の為に加熱槽内部の液を抜かずにヒーターを交換できます。
     用途
     スラリー供給装置