真空ポンプユニット
  • P94 (1.5w)
  • P97 (3.0w)
  • P97G (3.0w)



  • P94 (1.5w)

     型式 P94 (1.5w)
     電動機出力 1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
     到達圧力 40Pa
     排気速度 48㎥/h 、59㎥/h (50/60HZ)
     接続口径 25mm
     給水量 3.83LPM、 0.2〜0.5MPa
     重量 約50Kg
     外形寸法 D484×H218×W186
     騒音レベル 65dB/69dB (50/60HZ)
     電源電圧 185〜220V 3相Δ結線
     定格電流 6.4A/8.2A (50/60HZ)
     周囲温度 40℃
     製品概要
     ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成される
     用途
     ダイサー用真空チャック






    P97 (3.0w)

     型式 P97 (3.0w)
     電動機出力 3.0kw(50Hz)/3.45kw(60Hz)
     到達圧力 3.3kPa
     排気速度 78㎥/h(50Hz)/92㎥/h(60Hz)at40kPa
     接続口径 Φ38.1mm(Rc11/2インチ) IN・OUT共
     給水量 4.67LPM (最大給水圧1.1MPa)
     重量 約60Kg
     外形寸法 D556×H236×W225
     騒音レベル 66dB/71dB (50/60HZ)
     電源電圧 185〜220V 3相Δ結線
     定格電流 14.5A/14.5A (50/60HZ)
     周囲温度 40℃
     製品概要
     ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成される
     用途
     ダイサー用真空チャック






    P97G

     型式 P97G
     電動機出力 3.0kw(50Hz)/3.45kw(60Hz)×2機
     到達圧力 3.3kPa
     排気速度 78㎥/h(50Hz)/92㎥/h(60Hz)at40kPa
     接続口径 Φ38.1mm(Rc11/2インチ) IN・OUT共
     給水量 4.67LPM(最大給水圧1.1MPa)
     重量 約120Kg
     外形寸法 D556×H236×W225
     騒音レベル 66dB/71dB (50/60HZ)
     電源電圧 185〜220V 3相Δ結線
     定格電流 14.5A/14.5A (50/60HZ)
     周囲温度 40℃
     製品概要
     ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成される
     用途
     ダイサー用真空チャック