高圧ポンプユニット
  • KPWシリーズ
  • SSBLシリーズ
  • KPM-40B
  • KPM-5030



  • KPWシリーズ

     型式 KPWシリーズ
     吐出圧力 KPW-20 : 0.98〜9.8MPa
    KPW-30 : 1.47〜14.7MPa
    KPW-37.5 : 1.76〜17.6MPa
     吐出流量 KPW-20 : 1.13LPM
    KPW-30 : 0.71LPM
    KPW-37.5 : 0.58LPM
     駆動エア圧 0.05〜0.5MPa
     エア消費量 約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
     接液シール 純水、IPA ・・・ FKM
    NMP ・・・ カルレッツ
     製品概要
     エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった装置組み込みに適す
     用途
     高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる






    KPM-40B

     型式 KPM-40B
     吐出圧力 No1 4MPa 12LPM
    No2 2MPa 3LPM
     吐出圧調整 出荷時固定
    吐出圧力、流量についてはお客様の要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。
     外形寸法 W470*D800*H370
     重量 110Kg
     製品概要
     独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できます。
     CSP等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。
     吐出の操作は外部信号により独立して行います。
     用途
     CSP等のダイシング、バリ取り






    KPM-5030

     型式 KPM-5030
     吐出流量 33.5LPM、 5MPa
     純水仕様圧力 0.3〜0.4MPa
     供給エア 0.4〜0.7MPa
     アラーム機能 供給水圧低下
    インバータ出力異常
     外形寸法 W598*D548*H1224
     重量 150Kg
     製品概要
     ポンプとモータを縦に配置し床面積を縮小した。インバータ内蔵により流量特性を可変できる。
     外部信号により運転、停止ができる
     用途
     研磨ウエハの洗浄






    SSBLシリーズ

     型式 SSBLシリーズ
     吐出圧力 SSBL-20 : 0.98〜9.8MPa
    SSBL-30 : 1.47〜14.7MPa
    SSBL-37.5 : 1.76〜17.6MPa
     吐出流量 SSBL-20 : 1.13LPM
    SSBL-30 : 0.71LPM
    SSBL-37.5 : 0.58LPM
     駆動エア圧 0.05〜0.5MPa
     エア消費量 約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
     接液シール 純水、IPA ・・・ FKM
    NMP ・・・ カルレッツ
     製品概要
     エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能
     リフトオフ装置等の組込用に最適
     用途
     高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる