昇圧ポンプユニット
  • PU201A
  • PU300A
  • UPPU-10LR



  • PU201A

     型式 PU201A
     ポンプ カスケードステンレスポンプ 200W
     吐出流量 7LPM/9LPM 50/60HZ 4Kgf/㎠時
     適用流体 純水
     リモート機能 ポンプ運転/停止指令 DC24V
     安全動作 ・外部締切運転時リリーフ弁による
      内部循環自動切換え
     リリーフ作動圧 5Kgf/㎠
    ・循環水温度上昇検知
     作動温度 50℃
    ・過電流・漏電保護機能
     ブレーカ作動
     供給電源 AC100V ±10% 50/60HZ 8A
     外形寸法 W210*H245*D390
     筐体 アイボリー焼付け塗装
     重量 約15Kg
     製品概要
     水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
     用途
     各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去など






    PU300A

     型式 PU300A
     ポンプ カスケードステンレスポンプ 400W
     吐出流量 13LPM/16LPM 50/60HZ 0.5MPa時
     適用流体 純水
     表示 吐出圧力計 0〜0.6MPa
    吐出圧調整バルブ (リリーフ方式)
     リモート機能 ポンプ運転/停止指令 DC24V
     安全動作 ・外部締切運転時リリーフ弁による
      内部循環自動切換え
     リリーフ作動圧 0.5MPa
    ・循環水温度上昇検知
     作動温度 50℃
    ・過電流・漏電保護機能
     ブレーカ作動
     供給電源 AC200V ±10% 3Φ 50/60HZ 1.2KVA
     外形寸法 W228*H336*D520
     筐体 ステンレスヘアライン仕上げ
     重量 約25Kg
     使用環境 室内、温度10〜35℃、湿度30〜80%
     製品概要
     水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
     用途
     各種洗浄装置、ダイサースピンドルモータ冷却、バリ除去など






    UPPU-10LR

     型式 UPPU-10LR
     吐出圧力 0.4MPa max
     吐出流量 7LPM 0.2MPa時
     駆動エア圧力 0.2〜0.4MPa
     エア消費量 50LPM
     脈動防止 アキュムレータ内蔵
     接液配管材質 テフロンPFA又はPTFE
     漏水検知 ワイヤー式漏水検知器内蔵
     製品概要
     超純水を昇圧し外部へ供給するためのもので、昇圧 はエア駆動ベローズポンプにより行う。
     圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有する
     用途
     ウエハスピン洗浄用