English

お問合わせはこちら
TEL:042-646-4612(営業時間平日8:30~17:30)

テクノメイトロゴマーク 株式会社テクノメイト Technomate CO.,LTD

昇圧ポンプユニット

PU300A

PU300A
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット

    製品概要
    水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
    用途
    各種洗浄装置、
    ダイサースピンドルモータ冷却、
    バリ除去など

仕様

  • 型式

    PU300A

  • ポンプ

    カスケードステンレスポンプ
    400W

  • 吐出流量

    13L/min/16L/min 50/60Hz
    0.5MPa時

  • 適用流体

    純水

  • 表示

    吐出圧力計 0~0.6MPa
    吐出圧調整バルブ (リリーフ方式)

  • リモート機能

    ポンプ運転/停止指令 DC24V

  • 安全動作

    ・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え リリーフ作動圧 0.5MPa
    ・循環水温度上昇検知 作動温度 50℃
    ・過電流・漏電保護機能 ブレーカ作動

  • 供給電源

    AC200V ±10% 3Φ
    50/60Hz 1.2kVA

  • 外形寸法

    W228*H336*D520

  • 筐体

    ステンレスヘアライン仕上げ

  • 重量

    約25kg

  • 使用環境

    室内、温度10~35℃、
    湿度30~80%

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
PU201A

PU201A
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット

    製品概要
    水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
    用途
    各種洗浄装置、
    ダイサースピンドルモータ冷却、
    バリ除去など

仕様

  • 型式

    PU201A

  • ポンプ

    カスケードステンレスポンプ
    200W

  • 吐出流量

    17L/min/9L/min 50/60Hz
    4Kgf/㎠時

  • 適用流体

    純水

  • リモート機能

    ポンプ運転/停止指令 DC24V

  • 安全動作

    ・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え リリーフ作動圧 5Kgf/㎠
    ・循環水温度上昇検知 作動温度 50℃
    ・過電流・漏電保護機能 ブレーカ作動

  • 供給電源

    AC100V ±10% 50/60Hz 8A

  • 外形寸法

    W210*H245*D390

  • 筐体

    アイボリー焼付け塗装

  • 重量

    約15kg

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
UPPU-10LR

UPPU-10LR
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット

    製品概要
    超純水を昇圧し外部へ供給するためのもので、昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行う。圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有する
    用途
    ウエハスピン洗浄用

仕様

  • 型式

    UPPU-10LR

  • 吐出圧力

    0.4MPa max

  • 吐出流量

    7L/min
    0.2MPa時

  • 駆動エア圧力

    0.2~0.4MPa

  • エア消費量

    50L/min

  • 脈動防止

    アキュムレータ内蔵

  • 接液配管材質

    テフロンPFA又はPTFE

  • 漏水検知

    ワイヤー式漏水検知器内蔵

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)