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テクノメイトロゴマーク 株式会社テクノメイト Technomate CO.,LTD

真空ポンプユニット

P94 (1.5kw)

P94 (1.5kw)
ポンプユニット / 真空ポンプユニット

    製品概要
    ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成される
    用途
    ダイサー用真空チャック

仕様

  • 型式

    P94 (1.5kw)

  • 電動機出力

    1.45kW/1.85kW (50/60Hz)

  • 到達圧力

    40Pa

  • 排気速度

    48㎥/h 、59㎥/h (50/60Hz)

  • 接続口径

    25mm

  • 給水量

    3.83L/min、 0.2~0.5MPa

  • 重量

    約50kg

  • 外形寸法

    H550×W280×D535

  • 騒音レベル

    65dB/69dB (50/60Hz)

  • 電源電圧

    185~220V 3相Δ結線

  • 定格電流

    6.4A/8.2A (50/60Hz)

  • 周囲温度

    40℃

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
P97 (3.0kw)

P97 (3.0kw)
ポンプユニット / 真空ポンプユニット

    製品概要
    ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成される
    用途
    ダイサー用真空チャック

仕様

  • 型式

    P97 (3.0w)

  • 電動機出力

    3.0kW(50Hz)/3.4kW(60Hz)

  • 到達圧力

    3.3kPa

  • 排気速度

    78㎥/h(50Hz)/92㎥/h(60Hz)at40kPa

  • 接続口径

    Φ38.1mm(Rc11/2インチ) IN・OUT共

  • 給水量

    4.67L/min (最大給水圧1.1MPa)

  • 重量

    約60kg

  • 外形寸法

    H601×W333×D621

  • 騒音レベル

    66dB/71dB (50/60Hz)

  • 電源電圧

    185~220V 3相Δ結線

  • 定格電流

    14.5A/14.5A (50/60Hz)

  • 周囲温度

    40℃