高圧ポンプ
SSBLシリーズ
ポンプユニット / 高圧ポンプ
- 製品概要
- エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能リフトオフ装置等の組込用に最適
- 用途
- 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる
仕様
-
型式
SSBLシリーズ
-
吐出圧力
SSBL-20 : 0.98～9.8MPa
SSBL-30 : 1.47～14.7MPa
SSBL-37.5 : 1.76～17.6MPa -
吐出流量
SSBL-20 : 1.13L/min
SSBL-30 : 0.71L/min
SSBL-37.5 : 0.58L/min
-
駆動エア圧
0.05～0.5MPa
-
エア消費量
約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
-
接液シール
純水､IPA ･･･ FKM
NMP ･･･ カルレッツ
（外部サイト IPROS）
FSBL-50
ポンプユニット / 高圧ポンプ
- 製品概要
- エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能 リフトオフ装置等の組込用に最適
- 用途
- 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる
仕様
-
型式
FSBL-50
-
吐出圧力
2.5~25MPa
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吐出流量
1.68L/min
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駆動エア圧力
0.05~0.5MPa
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パイロットエア圧力
0.3~0.5MPa
-
接液シール
純水､IPA ･･･ FKM
NMP ･･･ カルレッツ
（外部サイト IPROS）
KPWシリーズ
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット
- 製品概要
- エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった装置組み込みに適す
- 用途
- 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる
仕様
-
型式
KPWシリーズ
-
吐出圧力
KPW-20 : 0.98～9.8MPa
KPW-30 : 1.47～14.7MPa
KPW-37.5 : 1.76～17.6MPa -
吐出流量
KPW-20 : 1.13L/min
KPW-30 : 0.71L/min
KPW-37.5 : 0.58L/min
-
駆動エア圧力
0.05～0.5MPa
-
エア消費量
約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
-
接液シール
純水､IPA ･･･ FKM
NMP ･･･ カルレッツ
（外部サイト IPROS）
KPM-40B
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット
- 製品概要
- 独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できます。CSP等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。吐出の操作は外部信号により独立して行います。
- 用途
- CSP等のダイシング、バリ取り
仕様
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型式
KPM-40B
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吐出圧力
No1 4MPa 12L/min
No2 2MPa 3L/min -
吐出流量
出荷時固定
吐出圧力､流量についてはお客様の要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。
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外形寸法
W470*D800*H370
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重量
110kg
（外部サイト IPROS）
KPM-5030
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット
- 製品概要
- ポンプとモータを縦に配置し床面積を縮小した｡インバータ内蔵により流量特性を可変できる。外部信号により運転、停止ができる。
- 用途
- 研磨ウエハの洗浄
仕様
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型式
KPM-5030
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吐出流量
33.5L/min､ 5MPa
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純水仕様圧力
0.3～0.4MPa
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供給エア
0.4～0.7MPa
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アラーム機能
供給水圧低下
インバータ出力異常 -
外形寸法
W598*D548*H1224
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重量
150kg
（外部サイト IPROS）