English

お問合わせはこちら
TEL:042-646-4612(営業時間平日8:30~17:30)

テクノメイトロゴマーク 株式会社テクノメイト Technomate CO.,LTD

高圧ポンプ

SSBLシリーズ

SSBLシリーズ
ポンプユニット / 高圧ポンプ

    製品概要
    エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能リフトオフ装置等の組込用に最適
    用途
    高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる

仕様

  • 型式

    SSBLシリーズ

  • 吐出圧力

    SSBL-20 : 0.98~9.8MPa
    SSBL-30 : 1.47~14.7MPa
    SSBL-37.5 : 1.76~17.6MPa

  • 吐出流量

    SSBL-20 : 1.13L/min
    SSBL-30 : 0.71L/min
    SSBL-37.5 : 0.58L/min

  • 駆動エア圧

    0.05~0.5MPa

  • エア消費量

    約70L (ポンプストローク数 60SPM時)

  • 接液シール

    純水、IPA ・・・ FKM
    NMP ・・・ カルレッツ

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
FSBL50

FSBL50
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット

    製品概要
    エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能 リフトオフ装置等の組込用に最適
    用途
    高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる

仕様

  • 型式

    FSBL-50

  • 吐出圧力

    2.5~25Mpa

  • 吐出流量

    1.68L/min

  • 駆動エア圧力

    0.05~0.5Mpa

  • パイロットエア圧力

    0.3~0.5Mpa

  • 接液シール 純水、IPA

    FKM

  • NMP

    カルレッツ

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
KPWシリーズ

KPWシリーズ
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット

    製品概要
    エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった装置組み込みに適す
    用途
    高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる

仕様

  • 型式

    KPWシリーズ

  • 吐出圧力

    KPW-20 : 0.98~9.8MPa
    KPW-30 : 1.47~14.7MPa
    KPW-37.5 : 1.76~17.6MPa

  • 吐出流量

    KPW-20 : 1.13L/min
    KPW-30 : 0.71L/min
    KPW-37.5 : 0.58L/min

  • 駆動エア圧力

    0.05~0.5MPa

  • エア消費量

    約70L (ポンプストローク数 60SPM時)

  • 接液シール

    純水、IPA ・・・ FKM
    NMP ・・・ カルレッツ

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
KPM-40B

KPM-40B
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット

    製品概要
    独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できます。CSP等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。吐出の操作は外部信号により独立して行います。
    用途
    CSP等のダイシング、バリ取り

仕様

  • 型式

    KPM-40B

  • 吐出圧力

    No1 4MPa 12L/min
    No2 2MPa 3L/min

  • 吐出流量

    出荷時固定
    吐出圧力、流量についてはお客様の要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。

  • 外形寸法

    W470*D800*H370

  • 重量

    110kg

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)
KPM-5030

KPM-5030
ポンプユニット / 高圧ポンプユニット

    製品概要
    ポンプとモータを縦に配置し床面積を縮小した。インバータ内蔵により流量特性を可変できる。外部信号により運転、停止ができる。
    用途
    研磨ウエハの洗浄

仕様

  • 型式

    KPM-5030

  • 吐出流量

    33.5L/min、 5MPa

  • 純水仕様圧力

    0.3~0.4MPa

  • 供給エア

    0.4~0.7MPa

  • アラーム機能

    供給水圧低下
    インバータ出力異常

  • 外形寸法

    W598*D548*H1224

  • 重量

    150kg

カタログPDF資料
(外部サイト IPROS)